五月丁香婷婷综合,亚洲一区二区三区四区五区六区,亚洲成人社区在线,精品一区二区三91

網(wǎng)站首頁技術中心 > 激光測厚儀在半導體器件工藝中的應用
產(chǎn)品中心

Product center

激光測厚儀在半導體器件工藝中的應用

發(fā)布時間:2021-07-14 點擊量:1315

激光測厚儀在半導體器件工藝中的應用

光測厚儀是一種根據(jù)物理光學原理測量薄膜厚度和折射率的儀器。它的特點是能測很薄的膜(可達10埃)測量精度很高(誤差小于±10埃),測量過程對樣品無損壞,并且能同時測定膜的厚度和折射率。 國外,近十多年來,法有了不少進展。近幾年來,我國也開展了這方面的工作。

日本半導體材料用非接觸式測厚儀設備OZUMA22

 

<用途>

半導體用ウエハー(各種材料)シリコンSi.GaAsガリウム砒素等、ガラス?金屬?化合物等の高精度非接觸厚さ測定(非接觸厚み測定)

<特徴>

1.エアー背圧方式 により非接觸厚さ測定(非接觸厚み測定)が可能が可能で キズ?コンタミ等のダメージを與えない
2.膜付?色艶等 の材質(zhì)依存がなく簡単に高精度の非接觸厚さ測定(非接觸厚み測定)が可能
3.水濡れ狀態(tài) での高精度の非接觸厚さ測定(非接觸厚み測定)が可能
4.鏡面?透明?半透明 でも 問題無く、高精度の非接觸厚さ測定(非接觸厚み測定)が可能
5.上下の測定ノズルで測定 する為 被測定物の "ソリ" による浮き上がりに
   影響されにくく "厚さ" を正確に測定できます。
  (オプションにて "ソリ" 測定も可 (*1) )
6.操作が簡単 なので測定や校正(*2)が非常に簡単に行なえます

<測定原理>

上下の測定ノズルの背圧を精密に管理してノズルと測定対象物の隙間を一定になる様にノズルを位置決めし、予め基準ゲージで校正してある値と比較演算処理を行い測定対象物の厚さを精密に求めることができます。

<性能>

  分解能      0.1μm
  繰返し精度  10回繰返し連続測定時の標準偏差(1σ) 0.3μm以下
  測定範囲   ?。恚幔?0mm (*3)
  供給??????  電源 AC100V 50/60Hz 3A
            クリーンエアー  0.4MPa  20NL/min.   (*4)



熟女视频1区| 两性视频三区| 亚洲午夜久久久精品影院推荐| 久久免费流白浆白丝| 丰满人妻未亡人| 久久私密网站| 美女的逼被鸡把操喷水| 久久欧美中文| 浪潮av爱| www.艹爽| 国产性 HD| 欧美一级成人无码| 日本美女插逼| 国产欧美日韩国生产一区二区| 久久精品四区69| 加勒比久久久久久久久久艹综合伊人 | 好吊操好妞| 亚洲日韩图区欧美日韩综合| 亚洲无码流出鸡巴操小骚逼| 日韩精品人妻中文字幕有| 亚州av网站| 亚州一区二区三区四区五氏| 五月丁香激情免费视频| 日韩 综合 一区 二区| 亚洲成人拍拍| 国产精品久久久久久爆乳| 大鸡巴日逼冒白浆视频| 亚洲精品欠A久久| 麻豆三级精品区在线| 亚洲精品专| 九九Av电影| 国产精品国内自产拍视频| 久久精品性久久久精品欧美| 蜜臀作品一区二区在线| 95精品一区二区三区| 欧美专区第十三页| 91精品国产人妻校长| 久久免费综合精品| 丰满人妻少妇久久久| 特大鸡巴肏屄视频| 内射精品日本|