半導體器件用溶解臭氧監(jiān)測儀 HZ-960介紹
溶解臭氧監(jiān)測儀HZ-960連續(xù)監(jiān)測半導體器件、液晶和玻璃濕法處理過程中使用的臭氧水中溶解臭氧的濃度。
產品特點
廣泛的測量范圍
可選配管尺寸 除了
標準的 3/4 英寸外，還提供 1/2 英寸和 1 英寸。
遠程校準功能 對于
在線使用，有一個帶有外部輸入的遠程校準功能。 可以通過自診斷功能監(jiān)控錯誤情況。
高重復性和穩(wěn)定性精度 在滿量程 ±0.2%
以內的重復精度
規(guī)格
| 產品名稱 | 溶解臭氧濃度監(jiān)測儀（變送器） | |||
|---|---|---|---|---|
| 型 | HZ-960 | |||
| 兼容的探測器 | ZH-10、ZH-40、ZH-100、ZH-500 | |||
| 測量對象 | 純水中的臭氧濃度 | |||
| 權力 | 直流 24 V ±10% 15 W | |||
| 結構 | 面板安裝室內型 面板外殼：ABS，端子部分：PBT 面板部分：防滴結構 | |||
| 防護結構 | 面板部分： IP65 （IEC60529， JISC0920） 后殼： IP20， 端子部分： IP00 | |||
| 合規(guī)標準 | CE標志 | 電磁兼容指令：EN61326-1 | ||
| 美國聯邦通信委員會規(guī)則 | FCCPart15 | |||
| 外部尺寸 | 96（寬）×96（高）×115（深）毫米，外殼深度：約105毫米（面板安裝） * 檢測器：ZH-XXX 系列的外形尺寸取決于型號，因此請單獨討論。 | |||
| 質量 | 約 550 g *檢測器： ZH-XXX 系列 約 2 公斤 | |||
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