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lintec直接汽化法的基本原理及產(chǎn)品特點分析

發(fā)布時間:2023-08-07 點擊量:1391

lintec直接汽化法的基本原理及產(chǎn)品特點分析

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使用液體質(zhì)量流量計進行質(zhì)量測量,并通過汽化器內(nèi)置的控制閥將具有流量控制的液體連續(xù)引入汽化室。 在汽化室中,液體瞬間汽化。 質(zhì)量控制是液體,但如果瞬間汽化,汽化后的氣體質(zhì)量是一樣的,所以如果是可以瞬間連續(xù)汽化的汽化器,液體主的質(zhì)量流量=蒸發(fā)器出口處的氣體質(zhì)量流量。

由于汽化濃度的元素由MFC直接控制,因此具有優(yōu)異的穩(wěn)定性,可實現(xiàn)高濃度汽化,難以鼓泡。

特點

  • 熱控制點少

  • 由于流量直接控制,因此具有出色的精度和穩(wěn)定性

  • 即使在減壓和常壓條件下也可以提供汽化

  • 能夠汽化和供應(yīng)大流量

汽化器產(chǎn)品一覽

載氣蒸發(fā)器

一種蒸發(fā)器,用于加熱流量控制的液體和載氣,以降低液化氣的分壓比并提供穩(wěn)定的汽化供應(yīng)。

迷你蒸發(fā)器 VU-206

  • 最大 H2O 汽化量:0.5 克/分鐘

  • 最大TEOS汽化:0.7克/分鐘

  • 最高加熱溫度:160°C

高效蒸發(fā)器 VU-430

  • 最大 H2O 汽化量:1.0 克/分鐘

  • 最大TEOS汽化:10克/分鐘

  • 最高加熱溫度:200°C

高效蒸發(fā)器 VU-450

  • 最大 H2O 汽化量:5g/min

  • 最大TEOS汽化:20克/分鐘

  • 最高加熱溫度:200°C

高溫高效汽化器 VU-550

  • 最大 H2O 汽化量:5g/min

  • 最大TEOS汽化:20克/分鐘

  • 最高加熱溫度:300°C

高效蒸發(fā)器 VU-440

  • 最大 H2O 汽化量:5g/min

  • 最大TEOS汽化:30克/分鐘

  • 最高加熱溫度:200°C

高溫高效大流量汽化器 VU-462

  • 最大 H2O 汽化量:15g/min

  • 最大TEOS汽化:50克/分鐘

  • 最高加熱溫度:300°C

輕接觸式蒸發(fā)器 VU-900

  • 最大 H2O 汽化量:7g/min

  • 最高加熱溫度:200°C

石英汽化器 QV-1000

  • 最大 H2O 汽化量:15g/min

  • 最高加熱溫度:200°C

非載體蒸發(fā)器

一種無載體非載體汽化器,可實現(xiàn)連續(xù)汽化,壓力波動很小。

低流量非載波蒸發(fā)器 VU-3100

  • 最大TEOS汽化:5克/分鐘

  • 最高加熱溫度:150°C

非載氣蒸發(fā)器 VU-3000

  • 最大 H2O 汽化量:5g/min

  • 最高加熱溫度:200°C

相關(guān)產(chǎn)品

液體汽化供應(yīng)裝置

溫度控制單元

加熱過濾器

蒸發(fā)器功能和選項

高效汽化


雙流體噴嘴
雙流體噴嘴模擬


文丘里效應(yīng)發(fā)生在具有液體流量控制和載氣噴嘴的雙流體噴嘴上。 通過將液滴噴射到正下方的汽化室中,我們實現(xiàn)了穩(wěn)定和連續(xù)的液體供應(yīng)到汽化室,即使在微小的流速下也會變成液滴。 通過接觸來自汽化室和汽化室側(cè)面的輻射熱,可以高效地蒸發(fā)小型化霧。

微流速汽化

微訂單微流量控制非常精細。 因此,對于調(diào)節(jié)流量的控制閥,需要可以精細設(shè)置的壓電陶瓷促動器,并且需要從控制單元到汽化室的死體積較小的控制閥。

最高工作溫度 300°C

對于CVD和ALD,有許多汽化和供應(yīng)沸點為200°C或更高的有機金屬化合物以及低蒸氣壓的要求。 林泰開發(fā)了一種兼具可維護性和耐熱性的蒸發(fā)器,采用Au密封和隔熱結(jié)構(gòu)。

可維護性

汽化器的壽命在很大程度上取決于材料的物理性質(zhì)和純度。 因此,根據(jù)汽化原料的不同,需要定期維護。 它在設(shè)計時考慮了Lintec的蒸發(fā)器可維護性,以降低維護成本。

閥門接近結(jié)構(gòu)

本產(chǎn)品在汽化室附近有一個液體流量控制閥。 根據(jù)液體質(zhì)量流量計的流量信號控制緊鄰汽化器的控制閥。 由于引入汽化室的流速受到控制,因此死體積小,汽化響應(yīng)也得到改善。

多液流量控制閥

通過在汽化室附近安裝多個液體流量控制閥,可以同時或交替地將單獨的液體引入汽化室并蒸發(fā)。

無閥結(jié)構(gòu)

這是一種汽化器,不會在汽化室附近安裝液體流量控制閥。 它可以與您現(xiàn)有的液體流量控制器或不需要C.F.的科里奧利液體質(zhì)量流量控制器一起使用。

高流量汽化

為了最大限度地發(fā)揮輻射熱的效果,我們通過使汽化室長而具有的結(jié)構(gòu),實現(xiàn)了大流量汽化。

節(jié)省空間



緊湊型蒸發(fā)器,表面間距為 78 mm。 節(jié)省空間的設(shè)計,即使與質(zhì)量流量計串聯(lián)使用,表面間距也為 203 mm。


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