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用于太陽能電池等各種制造設備的壓力監(jiān)測用壓力計CCMT-D系列介紹

發(fā)布時間:2024-11-12 點擊量:811

用于太陽能電池等各種制造設備的壓力監(jiān)測用壓力計CCMT-D系列介紹

CCMT-D系列是電容式壓力計,其陶瓷膜片因氣壓變化而變形,并通過電容的變化來檢測壓力。傳感器部分采用陶瓷制成的一體化結構,因此具有優(yōu)異的再現(xiàn)性和穩(wěn)定性,無論何種氣體(絕對壓力表),都可以精確測量低真空和中真空區(qū)域的壓力。

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目的

  • 用于薄膜沉積設備過程中的壓力監(jiān)測

  • 用于真空熔煉、真空熱處理爐等真空排氣系統(tǒng)的壓力監(jiān)測。

  • 用于太陽能電池等各種制造設備的壓力監(jiān)測

特征

  • 長期穩(wěn)定

  • 由于使用陶瓷膜,具有優(yōu)異的耐腐蝕性

  • 內置溫度補償電路型

  • 新采用的結構可保護傳感器免受污垢影響

  • 可通過按鈕進行零點調整

規(guī)格

模型CCMT-D
測量
滿量程
CCMT-1000D133kPa 滿量程
CCMT-100D13.3kPa滿量程
CCMT-10D1.33kPa滿量程
CCMT-1D133Pa 滿量程
解決整個案例為 0.003%
準確度*1±0.2%示值
±溫度系數
溫度系數零電壓0.005%FS/℃
量程電壓0.01% R/℃
工作溫度范圍10~50℃
響應速度30毫秒或更短
氣體接觸材料Al 2 O 3、Vacon70 *2、SUS316 *3
輸入功率DC14~30V,1W
輸出直流0~10VF.S
大量的329g(直徑12.7/標準型)
外形尺寸直徑55mm x 117mm(直徑12.7mm,標準型)
配件標準:直徑12.7管材
選項:NW16KF、Cajon 8VCR
溫度補償內置溫度補償電路
輸入/輸出連接器D-sub 15 針公頭
*1:打開電源2小時后,工作環(huán)境溫度為25℃。
*2:18% Cr、10% Ni、3% Mo、69% Fe
*3:28%鎳、23%鈷、49%鐵


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