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日本昭和ssvi超薄型主動(dòng)隔振裝置VAAV-H

日本昭和ssvi超薄型主動(dòng)隔振裝置VAAV-H

產(chǎn)品型號(hào)：

所屬分類：其他設(shè)備

產(chǎn)品時(shí)間：2024-09-06

簡(jiǎn)要描述：日本昭和ssvi超薄型主動(dòng)隔振裝置VAAV-H
配備了專門用于VAAV的超靈敏加速度傳感器。準(zhǔn)確掌握微小的振動(dòng)。
原始的主動(dòng)振動(dòng)隔離算法可高速計(jì)算，高精度高輸出執(zhí)行器可立即消除振動(dòng)。

詳細(xì)說明：

日本昭和ssvi超薄型主動(dòng)隔振裝置VAAV-H

 

配備了專門用于VAAV的超靈敏加速度傳感器。準(zhǔn)確掌握微小的振動(dòng)。

 

原始的主動(dòng)振動(dòng)隔離算法可高速計(jì)算，高精度高輸出執(zhí)行器可立即消除振動(dòng)。

 

超靈敏的加速度傳感器慷慨地安裝在地板一側(cè)，前饋控制實(shí)現(xiàn)了世界上gao水平的隔振性能。

 

在保持高性能和高精度隔振性能而沒有共振現(xiàn)象的同時(shí)，安裝臺(tái)的激振力所產(chǎn)生的振動(dòng)也會(huì)同時(shí)衰減。

值得

  • 它具有與VAAV-A系列相同的性能，但可以使設(shè)備的整體高度較低。
  • 氣動(dòng)控制可實(shí)現(xiàn)全fang位高精度的位移和位置控制。
  • 可以選擇能夠應(yīng)對(duì)較大移動(dòng)負(fù)載的高速響應(yīng)大流量閥。
  • 安全可靠的設(shè)計(jì)與CE標(biāo)記兼容。（控制器SAC-07）
  • 標(biāo)配臺(tái)前饋功能和振動(dòng)波形顯示分析軟件。

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產(chǎn)品用途

  • 在半導(dǎo)體制造和檢查設(shè)備中，它被用作需要精細(xì)處理的晶片的振動(dòng)對(duì)策以及用于移動(dòng)晶片的臺(tái)架的振動(dòng)對(duì)策。
  • 在液晶制造和檢查設(shè)備中，其目的是在機(jī)架和工作臺(tái)明顯移動(dòng)時(shí)快速衰減振動(dòng)，并用于立即檢查和校正，這有助于縮短節(jié)拍時(shí)間。
  • 在超精密機(jī)床中，它用于消除工作臺(tái)上的振動(dòng)，該工作臺(tái)用于精密加工，同時(shí)支持大載荷的運(yùn)動(dòng)。

日本昭和ssvi超薄型主動(dòng)隔振裝置VAAV-H

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規(guī)范

模型可安裝質(zhì)量（1個(gè)單位）尺寸（1個(gè)單位）
VAAV-1000-110H500-1700公斤240（寬）x 240（深）x 110（高）毫米
VAAV-2200-110H1100-3700公斤350（W）x 350（D）x 110（H）毫米
VAAV-4000-110H2100-7000公斤420（寬）x 420（深）x 110（高）mm
VAAV-7000-120H3600?12000公斤450（W）x 450（D）x 120（H）毫米
  • *防震臺(tái)的標(biāo)準(zhǔn)配置為4個(gè)/單位。
  • *表中的大值可以在沒有均勻負(fù)載和沒有動(dòng)態(tài)負(fù)載的情況下應(yīng)用。
控制器
SAC-07		控制器SAC-07300（W）x 300（D）x 118（H）毫米
電源供應(yīng)AC100V-240V 100VA（單相）
電源線3m
調(diào)節(jié)器
RGU-07		250（W）x 100（D）x 200（H）毫米
單元連接電纜5m
自由度3軸6自由度
振動(dòng)傳遞函數(shù) 
定位精度±10微米
主供氣壓力0.6MPa以上（清潔空氣）
耗氣量標(biāo)準(zhǔn)閥60 L / min
高速響應(yīng)閥250 L / min
 


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