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產(chǎn)品型號(hào): TM3
所屬分類:
產(chǎn)品時(shí)間:2024-09-07
簡(jiǎn)要描述:日本thermal測(cè)量薄膜和微小區(qū)域的熱導(dǎo)率TM3熱物理性質(zhì)顯微鏡是一種測(cè)量熱導(dǎo)率的裝置,熱導(dǎo)率是熱物理性質(zhì)值之一。它是一種可以通過點(diǎn),線和表面來測(cè)量樣品的熱性能的設(shè)備。也可以測(cè)量微米級(jí)的熱物理性質(zhì)值的分布,這在常規(guī)熱物理性質(zhì)測(cè)量設(shè)備中被認(rèn)為是困難的。
日本thermal測(cè)量薄膜和微小區(qū)域的熱導(dǎo)率TM3
在樣品上形成金屬薄膜,并用加熱激光器定期加熱。
日本thermal測(cè)量薄膜和微小區(qū)域的熱導(dǎo)率TM3
名稱/產(chǎn)品名稱 | 熱物理顯微鏡/熱顯微鏡 |
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測(cè)量方式 | 熱物理性質(zhì)分布測(cè)量(1維,2維,1點(diǎn)) |
測(cè)量項(xiàng)目 | 熱滲透率,(熱擴(kuò)散率),(熱導(dǎo)率) |
檢測(cè)光斑直徑 | 約3μm |
1點(diǎn)測(cè)量標(biāo)準(zhǔn)時(shí)間 | 10秒 |
待測(cè)薄膜 | 厚度幾百納米到幾十微米 |
重復(fù)精度 | 耐熱玻璃,硅的熱滲透率小于±10% |
樣品 | 1.樣品架30mm x 30mm厚度5mm 2.板狀樣品30mm x 30mm以內(nèi),厚度3mm以內(nèi)
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工作溫度極限 | 24°C±1°C(根據(jù)設(shè)備中內(nèi)置的溫度傳感器) |
平臺(tái)移動(dòng)距離 | ? X軸方向20mm ? Y軸方向20mm ? Z軸方向10mm |
加熱激光 | 半導(dǎo)體激光波長:808nm |
檢測(cè)激光 | 半導(dǎo)體激光波長:658nm |
電源供應(yīng) | 交流100V 1.5kVA |
標(biāo)準(zhǔn)配件 | 樣品架,參考樣品 |
選項(xiàng) | 光學(xué)壓盤,空調(diào),空調(diào)房,飛濺裝置 |