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內(nèi)置式陶瓷氣體過濾器

內(nèi)置式陶瓷氣體過濾器

產(chǎn)品型號: PGF系列

所屬分類:過濾器

產(chǎn)品時間:2024-09-10

簡要描述:日本pureron內(nèi)置式陶瓷氣體過濾器PGF系列
在超微LSI制造工藝中,要求必須將原料氣體以高純度的狀態(tài)輸送到使用點。因此原料氣體的高純度化自不必言說,管道系統(tǒng)的超凈化亦是一大重點。Pureron Japan 為順應這一時代的需求,研制出了在元件中使用了陶瓷的全新過濾器,從而實現(xiàn)了具有長久穩(wěn)定狀態(tài)的0.003μm的高過濾精度。

詳細說明:

日本pureron內(nèi)置式陶瓷氣體過濾器PGF系列

 

  • 高過濾精度
    在超微LSI制造工藝中,要求必須將原料氣體以高純度的狀態(tài)輸送到使用點。因此原料氣體的高純度化自不必言說,管道系統(tǒng)的超凈化亦是一大重點。Pureron Japan 為順應這一時代的需求,研制出了在元件中使用了陶瓷的全新過濾器,從而實現(xiàn)了具有長久穩(wěn)定狀態(tài)的0.003μm的高過濾精度。
  • 蝕刻和薄膜形成時必*高選擇性
    在追求高選擇性的過程中,極其重要的一點是去除水、氧氣等不純物的問題。為了切實地做到去除不純物,首先必*,是在高溫狀態(tài)下進行烘烤。從該觀點出發(fā)研制出的陶瓷過濾器可進行200℃的高溫烘烤。
  • 零維護實現(xiàn)成本削減
    能夠根據(jù)粒子粒徑大小分階段進行過濾的三層結(jié)構(gòu),因此幾乎不會有堵塞的問題。并且與以往的過濾器相比,具有高耐久性、高耐熱性特征的陶瓷過濾器不會在使用過程中出現(xiàn)故障。所以不會因生產(chǎn)線暫時中斷而帶來經(jīng)濟損失,并可長期持續(xù)地削減成本。

日本pureron內(nèi)置式陶瓷氣體過濾器PGF系列

規(guī)格

 

過濾精度0.003μm(但是,純水過濾時は0.1μm)
推薦流量10~200?/min(各型號區(qū)別:參考流量特性曲線)
設(shè)計壓力17MPa (2,465PSIG) at20℃本產(chǎn)品全部經(jīng)過14.7MPa的耐壓測試后出貨。但是,依據(jù)日本國內(nèi)的高壓氣體保安法,最高使用壓力的顯示和使用是不超過1MPa。關(guān)于1MPa以上的高壓煤氣認定品,請詢問我們。
常用壓力1MPa(145PSIG)未滿
最大容許差壓9.6MPa (1,392PSIG) at20℃
最高連續(xù)使用溫度120℃
烘烤溫度200℃
外部泄漏量2×10-11Pa?m3/sec以下
構(gòu)成材料外罩:SUS316L 內(nèi)表面粗糙度:Rmax0.7μm以下 元素:氧化鋁陶瓷(Al2O3)  密封圈:PTFE
連接零件1/4"、3/8"、1/2"、3/4" Gasket seal、 Compression seal、UPG®、其它


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