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軟薄膜和薄膜用臺式離線電容式測厚儀介紹
模型 | TOF-C2 *TOF-C 后繼型號 |
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測量方法 | 非接觸式/電容式 |
測量目標(biāo) | 薄膜、粘性保護(hù)膜、易吸灰塵的薄膜 |
測量原理 | 電容式 |
高測量分辨率
由于它是一種非接觸式方法,因此非常適合用接觸式方法難以測量的薄膜。
即使在粗糙的表面上也可以進(jìn)行測量。
定量測量
操作簡單(具有介電常數(shù)自動設(shè)定功能)
測量厚度 | ~500μm |
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測量長度 | 10~10000mm |
測量間距 | 1毫米~ |
最小顯示值 | 0.01微米 |
電源電壓 | 交流100V 50/60Hz |
工作溫度限制 | 5~40℃(測量時溫度變化1℃以內(nèi)) |
濕度 | 35-80%(無冷凝) |